检漏仪的使用方法 HELIOT MODEL-301 一. 检漏仪的原理: 通过检漏介质—氦气,如果测试腔体有漏,氦气就会由腔体漏入，经过管道和抽气系统进入检漏仪.氦气从检漏仪里的校准漏孔出来，再经过离子源和分析管将氦气分子离化为离子,并将其它离子离化并中合，只让氦离子通过，并将电离值转化为数字量，如果这个值有明显的上升,就表明有漏了. 二.检漏仪的使用方法: 首先确认与检漏仪接在一起的检漏腔体的真空压力是否在50Pa以下; 接通检漏仪的电源，按下检漏仪的MAIN POWER开关； 出现“PUSH START”按钮时，按下检漏仪的“START/STOP”按钮； 检漏仪进入自检状态，其过程为：Pumping→Zero→He Top→Fine→Mid→Grs→Zero →Standby→Test; 缓慢打开检漏仪上的手动阀门，等控制手柄上的数据稳定后开始检漏； 测试完毕，先关闭检漏仪的手动阀门，再按下控制手柄上的“Vent”的按钮； 关闭检漏仪上的“START/STOP”按钮，等5秒后，关闭检漏仪上的MAIN POWER开关。 三． 氦气的特性： 略比氢气重一些的惰性气体。渗透性比较强。由于氦气比较轻，打出后总是向上走，所以检漏的顺序应该是从上往下的顺序，气体比较贵，因此气量尽量开的小一些。 四． 检漏的方法： 1．使用氦质谱检漏仪： ①确定大致范围； ②逐一排除怀疑的漏点（用自封带，胶带，油脂和酒精等）； ③找出漏点的最大处（最终确定漏点的最小范围）； 2．使用酒精检漏（看真空计的变化，漏点可具体化，但灵敏度不高）； 3．使用探伤剂（渗透剂和显影剂，对于找出的怀疑漏点，使其显现出来）； 4．超声波和X射线等（检漏成本较高，不易广泛采用）。 五． 检漏仪的面板说明： 六．检漏仪常见的一些问题点： 1．漏率值有时会突然上升，然后又很快回到原来的位置，而且是每隔一定时间； 2．由于漏的原因，漏率值上升，排除漏的因素后，漏率值却始终降不下来； 3．打了氦气后，再通入压缩空气，漏率值没有变化，但泄压后漏率值又开始上升。 七．氦气检漏的种类： 1．顺流检漏方式，灵敏度高，反应快，一般都采用这种检漏方式； 2．逆扩散检漏方式，可在高压状态下进行检漏。 3．301检漏仪分四种检漏模式：①粗检漏模式（1000Pa以下），②一般检漏模式（70 Pa以下），③精检漏模式（10 Pa以下），④自动检漏模式。 4．自动检漏模式，对检漏端口压力高低和泄漏率的大小进行测试，来选择最佳检漏模式。

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